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產品名稱：紅外氣體傳感器
產品型號：Gasboard-2060
產品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節約成本,提高產量。
產品特性
（1）使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
（2）響應時間快，高靈敏度
（3）無耗材
（4）模擬/數字通信
（5）模塊化設計，便于集成
技術參數
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
應用領域
半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測
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