氧化鋯微量氧分析儀

簡要描述：氧化鋯微量氧分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術，實現工業過程中ppm級別氧濃度的測量，具有測量精度高、響應速度快、穩定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜工況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。

產品型號：Gasboard-3052
廠商性質：生產廠家
更新日期：2026-03-17
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Product classification

半導體行業氣體分析儀

氧化鋯微量氧分析儀

氧化鋯微量氧分析儀產品概述

氧化鋯微量氧分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術，實現工業過程中ppm級別氧濃度的測量，具有測量精度高、響應速度快、穩定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜工況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。

產品特性

測量精度高，ppm級別測量

響應速度快，秒級出數

產品穩定性好，無需定期校準

緊湊型模塊化設計，體積小，安裝方便

人機交互強，顯示內容豐富、直觀，操作方便

抗干擾能力強，對其他氣體的交叉敏感性低

報警功能：當氧氣濃度偏離報警值時將發出報警，報警值可調

應用領域

①半導體、LED等生產過程中氧濃度控制。

②惰性保護氣體生產及焊接工藝中氧濃度監測。

③空氣分離加工工藝中氧濃度測定。

④真空手套箱系統中氧含量的監控。

氧化鋯微量氧分析儀

技術參數

測量原理	極限電流型氧化鋯法
量程范圍	0~10ppm；0~100ppm；0~1000ppm；自動切換
測量精度	≤±2%F.S.
分辨率	0.1ppm
響應時間	T90≤10s
工作溫度	0~50℃
相對濕度	0~95%RH
模擬電流輸出	4~20mA
模擬電壓輸出	0~1，0~5，0~10 V DC
報警輸出	2路報警，1路故障報警
通訊接口	RS-232，RS-485
電源	12V DC/20V AC，50Hz

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氧化鋯微量氧分析儀

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